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OLED System
 

OLED真空烤箱系统

개요

  • 真空烘箱系统,用于预蒸发过程,以去除杂质(例如残留的溶剂或水蒸气),这些杂质会缩短OLED面板的缺陷和使用寿命。

특징

  • -组成:装载室,传输模块室,真空烤箱,冷却室
    -加热器:板式加热器微调温度已激活。

사양

  • -适用基板尺寸:370mm x 470mm〜2940mm x 3370mm
    -热量:最大250oC,均匀度≤±5%
    -冷却:10oC〜70oC
    -真空度:极限5E-7Torr(12小时内)
    -处理时间:120秒〜1000秒