研发
研究成果
Advanced溅镀技术
- 监督等离子体并控制厚度, 检查TFT激活层的特性, 使用磁悬浮传送, 混合的(Hybrid)运营系统, 下垫层low damage溅镀技术(适用微波)
- 同位素电池领域
- 设备: Ni-63 镀金设备,单位Cell连接设备
- 关键技术 : Ni-63 全面镀膜技术、放射性物质屏蔽技术，单位模块集成技术
- 应用 ：放射安全感应系统电源、军用设备的备用电源
- 半导体包装领域
- 设备 : Ti-Cu 镀机
- 关键技术 : 晶片个别控制、 High Throughput、异物最小化屏蔽结构
- 应用: WLP用金属配线蒸镀用镀机
- 钢铁领域
- 设备: 水平式镀机(PVD)
- 关键技术: 真空锁、等离子表面处理技术
- 应用: 汽车用钢材的干式镀膜设备
- Bio 领域
- 设备: 治疗前列腺癌Kit制造设备
- 关键技术: I-125(碘)包装技术
- 应用: 治疗前列腺癌Kit
- 显示器领域
- 设备: 微波辅助溅射、活跃层单一膜检查设备、磁悬浮系统等
- 关键技术: 微波搬送单元设计技术、微波泄露防止技术、氧化物半导体单一膜及TFT特性匹配技术、LMS负荷控制技术
- 应用: 先进的镀机
- 太阳能领域
- 设备: 应用了Se淋浴模块的快速热处理设备
- 关键技术: Se淋浴模块工艺控制技术、 淋浴模块结构的硬件技术
- 应用: CIGS薄膜太阳能电池制造设备
