产品展示
Sputtering System
串联式垂直静电溅射机（SuVas-VS系列）
개요
- LST系列是在大面积基板上真空沉积氧化物和金属材料的设备，用于制造薄膜晶体管。
특징
- -垂直静态类型
- 优化的设计减轻了设备的重量，并减少了占地面积
- 通过非接触式输送系统将室内的颗粒降至最低
- 可以形成多层
- 移动阴极部件的磁体以改善薄膜质量并最大化目标效率
사양
- -基板尺寸：8代玻璃或以上 -节拍时间：60秒以内（TFT停止沉积类型）沉积材料：ITO，SIO，TIO，ZnO，CrOx，AZO，GZO，IGZO电源：直流，脉冲直流或中频-厚度均匀度：±10％以内（停止成膜型）-表面电阻：±12％以内-加热温度：250°C（基于基材温度）-加热温度均匀度：15°C以内