产品展示
Module System
卷对卷溅射
개요
- 卷对卷溅射机广泛用于沉积在柔性薄膜上。
卷对卷溅射的应用是可变的。
특징
- -松动单元
收卷机
-阴极系统
主硒鼓单元
-滚动单元
控制系统
处理/测量装置（可选）
사양
-胶卷宽度：〜1500mm
-真空度：Ultimate 2.0E-6Torr（12小时）
-目标材料：金属和氧化物
-功率：直流，脉冲直流，中频，射频功率厚度均匀度：±5％以内
-附着力：100％（测试ASTM D3359）