产品展示
Sputtering System
串联式垂直动态溅射仪（SuVas-VD系列）
개요
- LSF系列是用于在大面积基板上真空沉积氧化物和金属材料的设备，用于制造彩色滤光片。
특징
- -立式直列式
-优化的设计减轻了设备的重量并最大程度地减少了占地面积
-通过非接触式输送系统使室内的颗粒最小化
-可能形成多层
-通过移动阴极部件的磁体来改善薄膜质量和目标效率
사양
- 基板尺寸：8代玻璃或以上
- 节拍时间：35秒以内（C / F动态类型）- 沉积材料：ITO，SIO，TIO，ZnO，CrOx，AZO，GZO，IGZO- 电源：直流，脉冲直流或中频- 厚度均匀度：±5％或以下（动态型）- 表面电阻：±12％以内加热温度：250°C（基于基板温度）- 加热温度均匀度：15℃以内