产品展示
OLED System
OLED真空传输系统
개요
- 该系统是一种大面积沉积设备，可以通过线性沉积源将OLED有机材料沉积在大面积玻璃上，而不是由现有点沉积源组成的有机点沉积设备。
특징
- -由装载机，负载锁定室和处理室组成的背背式设备
-通过结合掩模和玻璃在载体上进行处理
-处理室下方的线性沉积源向前/向后移动
-真空泵由低真空（用于干式+增压泵）和高真空（用于TMP和冷冻泵）组成
사양
- -基板尺寸：最大G5（1,500 X 1,850mm） -驱动方法：载体在滚子上运行-基本真空度：负载锁定Ch 2E-6Torr，处理室8E-7Torr