产品展示

OLED System
 

OLED真空传输系统

개요

  • 该系统是一种大面积沉积设备,可以通过线性沉积源将OLED有机材料沉积在大面积玻璃上,而不是由现有点沉积源组成的有机点沉积设备。

특징

  • -由装载机,负载锁定室和处理室组成的背背式设备
    -通过结合掩模和玻璃在载体上进行处理
    -处理室下方的线性沉积源向前/向后移动
    -真空泵由低真空(用于干式+增压泵)和高真空(用于TMP和冷冻泵)组成

사양

  • -基板尺寸:最大G5(1,500 X 1,850mm) 
    -驱动方法:载体在滚子上运行 
    -基本真空度:负载锁定Ch 2E-6Torr,处理室8E-7Torr